[实用新型]离子注入检测系统以及离子注入机

权利要求书

1.一种离子注入检测系统，用于检测离子注入机的离子束，其特征在于，所述离子注入机包括扫描盘，所述扫描盘内包括至少一用于放置晶圆的晶圆区，所述离子注入检测系统包括：

至少一将所述离子束转化为电流的法拉第杯，位于所述离子注入机内并与所述扫描盘同步运动，并接受所述离子束；以及

电流测量单元，与所述法拉第杯连接，所述电流测量单元接收所述法拉第杯的电流信号。

2.如权利要求1所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述离子束在所述离子注入机内传播，与所述扫描盘的相对移动形成离子束扫描区域，所述离子束扫描区域包括注入区域，所述注入区域内的离子束注入所述晶圆区，所述法拉第杯位于所述注入区域外的所述离子束扫描区域内。

3.如权利要求1所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述法拉第杯包括杯身、杯底以及一用于所述离子束注入的杯口，所述杯口的方向与所述扫描盘的方向相同，所述杯底与所述扫描盘相平行。

4.如权利要求3所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述杯底为离子束感应板。

5.如权利要求3所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述杯底为方形。

6.如权利要求5所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述杯底的宽度为1mm～20mm，所述杯底的长度为0.1mm～200mm。

7.如权利要求3所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述杯身的高度为2mm～200mm。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述离子束扫描区域与所述扫描盘所在的平面形成扫描面，所述扫描面包括第一方向以及第二方向，所述第一方向与第二方向相垂直，所述离子束在所述第一方向具有第一方向宽度，所述离子束在所述第二方向进行扫描，所述离子束在第三方向传播，所述第三方向与所述扫描面相垂直。

9.如权利要求8所述的离子注入检测系统，其特征在于，每一所述离子束扫描区域内设置两个所述法拉第杯。

10.如权利要求8所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述第一方向宽度大于等于所述晶圆区的直径。

11.如权利要求1-7中任意一项所述的离子注入检测系统，其特征在于，所述法拉第杯与所述扫描盘固定连接。

12.一种离子注入机，其特征在于，包括如权利要求1-11中任意一项所述的离子注入检测系统。