[实用新型]曝光机的曝光平台

摘要

本实用新型公开一种曝光机的曝光平台，包含曝光框、载台、多个升降单元及透光板；其中，载台可相对曝光框接近或远离，载台的上表面具有容置区，容置区用于放置基板并使曝光光源的入射光投射至基板；升降单元设置于曝光框上；透光板与升降单元的夹具结合，透光板由升降单元驱动而朝向或远离载台的容置区移动；本实用新型的曝光平台的透光板是通过夹具与升降单元固定至曝光框底面上，当在电路板制程的曝光步骤中进行抽真空时，透光板可由升降单元驱动并贴合于基板并随基板平整度产生变形，而增进了透光板与基板的贴合紧密度，进而提升了曝光分辨率。

主权项

一种曝光机的曝光平台，用于承载一基板并对位于一曝光光源下方，其特征在于，包含：一曝光框；一载台，可相对该曝光框接近或远离，该载台的上表面具有一容置区，该容置区用于放置该基板并使该曝光光源的入射光投射至该基板；多个升降单元，设置于该曝光框上；以及一透光板，与这些升降单元结合，该透光板由这些升降单元驱动而朝向或远离该载台的容置区移动。