[实用新型]曝光机的曝光平台有效

申请号：	201420235224.6	申请日：	2014-05-08
公开（公告）号：	CN203858451U	公开（公告）日：	2014-10-01
发明（设计）人：	张鸿明	申请（专利权）人：	川宝科技股份有限公司
主分类号：	G03F7/20	分类号：	G03F7/20
代理公司：	北京市浩天知识产权代理事务所 11276	代理人：	韩龙;金卫文
地址：	中国台***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	曝光平台
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【说明书】：

技术领域

本实用新型涉及一种曝光机的曝光平台，尤其涉及一种用于电路板制程的曝光机中的曝光平台。

背景技术

现有用于电路板制程的曝光机中，是通过一曝光平台来使曝光光源、基板与光罩对位，以利于使曝光光源精确地曝光至基板上光罩未遮蔽的区域。其中，现有的曝光平台具有一载台与一曝光框，该载台用于承载该基板，该曝光框具有矩形的框体及设置于该框体中的透光板，该透光板用于设置光罩并压合于该基板表面，在电路板制程中，利用连接该载台的抽真空装置，对该载台与该曝光框之间进行抽真空，以使该曝光框及该透光板底面的光罩紧密地贴合在该基板表面后，再开启曝光光源进行曝光。

然而，在抽真空装置将该载台与该曝光框之间进行抽真空的过程中，抽真空的吸力逐渐提高，由于该基板表面并非完全平整，并且该透光板四周边缘被该框体所固定，该透光板无法随基板表面平整度产生变形，导致该曝光框及该曝光框上的光罩无法完全紧密贴合于该基板表面，进而使降低曝光分辨率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种曝光机的曝光平台，用于使曝光光源、基板与光罩对位，该曝光平台可随基板表面平整度产生变形以使光罩紧密地贴合至基板表面，并具有提高曝光分辨率的功效。

为达上述目的及其它目的，本实用新型提供一种曝光机的曝光平台，用于承载一基板并对位于一曝光光源下方，包含一曝光框、一载台、多个升降单元及一透光板；其中，该载台可相对该曝光框接近或远离，该载台的上表面具有一容置区，该容置区用于放置该基板并使该曝光光源的入射光投射至该基板；这些升降单元设置于该曝光框上；该透光板与这些升降单元结合，该透光板由这些升降单元驱动而朝向或远离该载台的容置区移动。

上述的曝光机的曝光平台，其中各该升降单元具有一基座、一活塞及一夹具，该基座固定于该曝光框上，该活塞可往复移动地容置于该基座的一容置槽内并具有一往复行程，该活塞的一端通过该容置槽的槽口并结合至该夹具，该夹具夹持该透光板。

上述的曝光机的曝光平台，其中该基座的容置槽的槽口具有一第一定位部，且该夹具具有对应该第一定位部的一第二定位部。

上述的曝光机的曝光平台，其中该往复行程为3.5±0.5mm。

上述的曝光机的曝光平台，其中该曝光平台具有一真空表，用于侦测该载台的上表面的气压。

上述的曝光机的曝光平台，其中该升降单元电性连接一主控计算机，用于当该真空表侦测到的气压达一预定值时，该主控计算机控制这些升降单元作动使该透光板朝向该载台的容置区移动且贴合该载台上表面的基板。

上述的曝光机的曝光平台，其中该活塞邻近一端处具有一密封圈，该基座上具有一放松进气孔及一夹持进气孔，该密封圈在该放松进气孔与该夹持进气孔之间往复移动且使该基座的容置槽内被隔离形成一放松进气室及一夹持进气室，该放松进气孔连通该放松进气室，该夹持进气孔连通该夹持进气室，该放松进气孔及该夹持进气孔用于分别连接至一进气装置，且该进气装置电性连接该主控计算机。

上述的曝光机的曝光平台，其中这些升降单元的数量至少四个以上。

据此，本实用新型的曝光平台应用在电路板制程的曝光步骤中，该曝光平台的透光板通过这些夹具与这些升降单元固定至该曝光框底面上，故在该载台与该曝光框相对接近后且进行抽真空时，该透光板可通过这些升降单元驱动并贴合于该基板表面，且该透光板在抽真空过程中可随着该基板平整度产生变形，进而增进了透光板与基板的贴合紧密度，而能改善现有技术中曝光框的透光板在抽真空时无法随基板平整度产生变形的缺点，故本实用新型的曝光平台可增进该透光板与该基板在抽真空时紧密地贴合，进而提升了曝光分辨率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的曝光平台的示意图。

图2为本实用新型实施例的曝光平台中曝光框的结构示意图。

图3A及3B为本实用新型实施例的曝光平台中升降单元的结构示意图。

【主要组件符号说明】

1曝光平台

10曝光框

20载台

21上表面

30升降单元

31基座

31A上盖体