[实用新型]一种镀膜机抽真空系统

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机抽真空系统，包括镀膜机，所述镀膜机中设置有机器泵、罗茨泵和扩散泵，所述机械泵的进气口设置在镀膜机的外表面，罗茨泵连接在机器泵上，扩散泵连接在罗茨泵上，所述机器泵的进气口上设置有进气管道，进气管道的一端连接有过滤器，所述过滤器上设置有电磁阀，所述过滤器的进气口一端连接有抽空装置；设置有过滤器和电磁阀，通过抽空装置对空气进行抽取，经过过滤器进行过滤，电磁阀用来控制过滤器的过滤量，已解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题。

主权项

一种镀膜机抽真空系统，包括镀膜机（1），其特征在于：所述镀膜机（1）中设置有机器泵（2）、罗茨泵（3）和扩散泵（4），所述机械泵（2）的进气口（5）设置在镀膜机（1）的外表面，罗茨泵（3）连接在机器泵（2）上，扩散泵（4）连接在罗茨泵（3）上，所述机器泵（2）的进气口（5）上设置有进气管道（6），进气管道（6）的一端连接有过滤器（7），所述过滤器（7）上设置有电磁阀（8），所述过滤器（7）的进气口一端连接有抽空装置（9）。