[实用新型]一种镀膜机抽真空系统

权利要求书

1.一种镀膜机抽真空系统，包括镀膜机（1），其特征在于：所述镀膜机（1）中设置有机器泵（2）、罗茨泵（3）和扩散泵（4），所述机械泵（2）的进气口（5）设置在镀膜机（1）的外表面，罗茨泵（3）连接在机器泵（2）上，扩散泵（4）连接在罗茨泵（3）上，所述机器泵（2）的进气口（5）上设置有进气管道（6），进气管道（6）的一端连接有过滤器（7），所述过滤器（7）上设置有电磁阀（8），所述过滤器（7）的进气口一端连接有抽空装置（9）。

2.如权利要求1所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述过滤器（7）至少设置有两个。

3.如权利要求1或2所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述与机械泵（2）进风口（5）连接的进气管道（6）的直径大于过滤器（4）之间连接的进气管道的直径。

4.如权利要求1所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述抽空装置（9）上设置有垂直向下的抽空管道（10）。

5.如权利要求1所述的一种镀膜机抽真空系统，其特征在于：所述进气管道（6）与机器泵进气口（5）、过滤器（7）、抽空装置（9）的连接处设置有密封圈（11）。