[实用新型]一种镀膜机抽真空系统有效
申请号: | 201420189738.2 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN203904454U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 阮成武;陈军海 | 申请(专利权)人: | 芜湖市德宝新材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 沈志海 |
地址: | 241300 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 真空 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜机金属安全膜领域,尤其涉及一种镀膜机抽真系统。
背景技术
真空蒸渡金属薄膜是在高真空条件下,以电阻、高频或电子加热使金属熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜,其中被镀金属材料用的最多的是铝,在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或镀铝纸,在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的,真空度过高或过低都会影响镀膜的性能,目前,工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定,导致生产过程中产品的性能不够稳定,因此,解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题尤为重要。
实用新型内容
本实用新型提供了一种镀膜机抽真空系统,设置有过滤器和电磁阀,通过抽空装置对空气进行抽取,经过过滤器进行过滤,电磁阀用来控制过滤器的过滤量,已解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题。
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种镀膜机抽真空系统,包括镀膜机,所述镀膜机中设置有机器泵、罗茨泵和扩散泵,所述机械泵的进气口设置在镀膜机的外表面,罗茨泵连接在机器泵上,扩散泵连接在罗茨泵上,所述机器泵的进气口上设置有进气管道,进气管道的一端连接有过滤器,所述过滤器上设置有电磁阀,所述过滤器的进气口一端连接有抽空装置。
进一步改进在于:所述过滤器至少设置有两个。
进一步改进在于:所述与机器泵进气口连接的进气管道的直径大于过滤器之间连接的进气管道的直接。
进一步改进在于:所述抽空装置上设置有垂直向下的抽空管道。
进一步改进在于:所述进气管道与机器泵进风口、过滤器、抽空装置的连接处设置有密封圈。
本实用新型的有益效果是:设置有过滤器和电磁阀,通过抽空装置对空气进行抽取,过滤器对抽取的空气进行过滤,电磁阀用来控制过滤器的过滤量,当真空度过低时打开电磁阀,反之则关闭电磁阀,设置有垂直向下的抽空管道可以方便空气的空去,设置有密封圈可以防止气体的泄漏,本实用新型结构简单,通过过滤器和电磁阀有效的保证了镀膜机中高真空条件。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
其中:1-镀膜机,2-机器泵,3-罗茨泵,4-扩散泵,5-进气口,6-进气管道,7-过滤器,8-电磁阀,9-抽空装置,10-抽空管道,11-密封圈。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解,下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述,该实施例仅用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型保护范围的限定。
如图1所示,本实施例提供了一种镀膜机抽真空系统,包括镀膜机1,所述镀膜机1中设置有机器泵2、罗茨泵3和扩散泵4,所述机械泵2的进气口5设置在镀膜机1的外表面,罗茨泵3连接在机器泵2上,扩散泵4连接在罗茨泵3上,所述机器泵2的进气口5上设置有进气管道6,进气管道6的一端连接有过滤器7,所述过滤器7上设置有电磁阀8,所述过滤器7的进气口一端连接有抽空装置9。所述过滤器7至少设置有两个。所述与机械泵2进风口5连接的进气管道6的直径大于过滤器4之间连接的进气管道的直径,这样方便空气的流动。所述抽空装置9上设置有垂直向下的抽空管道10,可以方便空气的抽取。所述进气管道6与机器泵进气口5、过滤器7、抽空装置9的连接处设置有密封圈11,可以防止气体的泄漏。
通过抽空装置对空气进行抽取,过滤器对抽取的空气进行过滤,电磁阀用来控制过滤器的过滤量,先是由机械泵对空气进行初抽,达到一定真空度后罗茨泵工作,当真空室内的达到一定的真空度(10-2mbar)后扩散泵才打开,由扩散泵来进一步提高并维持真空室内的高真空度(10-4mbar),电磁阀用来控制过滤器的过滤量,当真空度过低时打开电磁阀,反之则关闭电磁阀。
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