[实用新型]用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置

摘要

一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，包括：输入/输出站，其用于为涂覆装置提供第一传送保持件和第二传送保持件，第一传送保持件用于提供多个晶圆，第二传送保持件用于从涂覆装置移出晶圆；涂覆站，其包括用于容纳晶圆的转盘以及用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于转盘的晶圆的中心部分的涂敷器；干燥装置的至少一个干燥站，其用于干燥已通过转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及操纵装置，其包括操作臂，操作臂能够围绕涂覆装置的转动轴枢转，操作臂用于从第一传送保持件拾起晶圆，将晶圆定位于涂覆站中和干燥站中，以及将晶圆放置于第二传送保持件。因此，该涂覆装置具有紧凑的结构且允许成本有效地工业生产晶圆表面的涂层。

主权项

一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置包括：输入/输出站（13），该输入/输出站（13）用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件（33）和第二传送保持件（34），该第一传送保持件（33）用于提供多个晶圆，该第二传送保持件（34）用于从所述涂覆装置移出所述晶圆；涂覆站（14），所述涂覆站（14）包括：用于容纳晶圆的转盘（38）；以及涂敷器（39），其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分；干燥装置（15）的至少一个干燥站（16、17、18、19、20），用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及操纵装置（22），所述操纵装置（22）包括操作臂（24），该操作臂（24）能够围绕所述涂覆装置的转动轴（23）枢转，该操作臂（24）用于从配置于所述输入/输出站（13）中的所述第一传送保持件（33）拾起晶圆，将所述晶圆定位于所述涂覆站（14）中和所述干燥站（16）中，以及将所述晶圆放置于配置在所述输入/输出站中的所述第二传送保持件（34）。