[实用新型]一种Z轴电容式微机械加速度计有效
| 申请号： | 201420151300.5 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203825034U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘恒;于步云;孟瑞丽;许辰;王冕 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层，所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿，其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时，所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构，且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好，能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
一种Z轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层，其特征在于：所述结构层包括一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿，其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时，所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构，且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420151300.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种助爬器
- 下一篇：锂离子二次电池用负极及其制造方法、以及锂离子二次电池
