[实用新型]一种药液箱及光刻胶剥离设备有效
| 申请号： | 201420106686.8 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN203736950U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘耀;丁向前;李梁梁;白金超;刘晓伟;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/56 | 分类号： | B01D29/56;B01D29/05;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻胶剥离技术领域，特别涉及一种药液箱及光刻胶剥离设备，用于提高光刻胶剥离的稼动率。本实用新型公开的药液箱包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于箱体内对从回液口流向出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在箱体的底部开设有可将滤网组件滤出的杂质排出箱体的第一排废料口。本实用新型同时还公开了一种光刻胶剥离设备，包括上述技术方案所提的药液箱。循环使用的剥离药液先在药液箱内过滤，从而减少了光刻胶剥离设备中过滤器所滤出的杂质，使得过滤器不易发生堵塞，从而减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 药液 光刻 剥离 设备 | ||
【主权项】：
一种药液箱，应用在光刻胶剥离设备中，其特征在于，包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于所述箱体内对从所述回液口流向所述出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在所述箱体的底部开设有可将所述滤网组件滤出的杂质排出所述箱体的第一排废料口。
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