[实用新型]一种药液箱及光刻胶剥离设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻胶剥离技术领域，特别涉及一种药液箱及光刻胶剥离设备。

背景技术

光刻胶剥离设备是光刻工艺中必不可少的设备，用于去除残留在产品表面的光刻胶。现有的光刻胶剥离设备包括：存储有剥离药液的药液箱，与药液箱连通的过滤器，以及分别与过滤器和药液箱连通的剥离装置；在进行去除残留在产品表面上的光刻胶作业时，剥离药液首先经过滤器过滤后进入剥离装置中，使放置在剥离装置中的待剥离产品的表面上的光刻胶溶解，然后回流到药液箱中。

因上述剥离药液是循环使用的，因此，在剥离药液中会混有一些杂质，如未完全溶解的光刻胶残片等，这些杂质的存在，很容易造成过滤器堵塞，导致清理或更换过滤器的次数较多，而清理或更换过滤器的过程比较复杂，耗时较长，严重影响光刻胶剥离设备的稼动率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种药液箱及光刻胶剥离设备，用于提高光刻胶剥离的稼动率。

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种药液箱，包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于所述箱体内对从所述回液口流向所述出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在所述箱体的底部开设有可将所述滤网组件滤出的杂质排出所述箱体的第一排废料口。

优选地，所述箱体为长方体形箱体，所述回液口和所述出液口分别开设于所述箱体的两个相对的侧壁上，所述滤网组件横设在所述回液口和所述出液口之间，所述第一排废料口位于所述滤网组件和所述回液口之间。

较佳地，所述箱体的底部还开设有第二排废料口，所述第二排废料口位于所述出液口和所述滤网组件之间。

较佳地，所述箱体上还开设有补液口，所述补液口位于所述滤网组件朝向所述出液口的一侧。

优选地，所述箱体为圆柱体形箱体，在位于所述回液口和所述出液口之间的两个相对的侧壁上各设置有一个插槽结构，所述滤网组件插设于两个所述插槽中。

优选地，所述滤网组件包括：

挡板，所述挡板的中间区域开设有贯穿所述挡板厚度的开口；

固定安装在所述挡板的开口处的第一滤网。

进一步地，上述药液箱还包括：设置于所述箱体内且位于所述挡板的上边缘的第一液位传感器，以及与所述第一液位传感器信号连接的第一控制器，所述第一控制器在所述箱体内所述滤网组件朝向所述回液口一侧的剥离药液的液位超出所述挡板的上边缘时，根据所述第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号。

优选地，所述滤网组件包括：边框，固定安装在所述边框上的第二滤网。

进一步地，上述药液箱还包括：

设置于所述箱体内的两个第二液位传感器，两个所述第二液位传感器漂浮在所述滤网组件两侧的剥离药液上；

以及分别与两个所述第二液位传感器信号连接的第二控制器，所述第二控制器根据两个所述第二液位传感器所检测的所述滤网组件两侧的剥离药液的液位，计算获得所述滤网组件两侧的剥离药液的液位之差，并在所述液位之差大于等于设定值时发出报警信号。

本实用新型同时还提供了一种光刻胶剥离设备，包括：过滤器，与所述过滤器连通、上述技术方案所提的任一种药液箱。

本实用新型提供的药液箱，通过设置在箱体内的滤网组件对从回液口流向出液口的剥离药液进行过滤，滤出的杂质可从第一排废口排出箱体，因此，当光刻胶剥离设备采用该药液箱时，循环使用的剥离药液在进入过滤器中之前，由箱体内的滤网组件进行过滤，使得剥离药液在经过过滤器时被滤出的杂质明显减少，从而减少过滤器发生堵塞的次数，也就减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。此外，循环使用的剥离药液在经过过滤器之前进行过滤，可以明显减轻过滤器的过滤压力，从而可以延长过滤器的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的药液箱的主视剖视图；

图2为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的主视剖视图；

图3为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的侧视剖视图；

图4为图1中一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图；

图5为图1中另一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图；

图6为本实用新型具体实施例二提供的药液箱的主视剖视图；

图7为图5中滤网组件的主视剖视图。

附图标记：

10-箱体，              11-回液口，

12-出液口，            13-第一排废料口，