[实用新型]一种药液箱及光刻胶剥离设备

权利要求书

1.一种药液箱，应用在光刻胶剥离设备中，其特征在于，包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于所述箱体内对从所述回液口流向所述出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在所述箱体的底部开设有可将所述滤网组件滤出的杂质排出所述箱体的第一排废料口。

2.如权利要求1所述的药液箱，其特征在于，所述箱体为长方体形箱体，所述回液口和所述出液口分别开设于所述箱体的两个相对的侧壁上，所述滤网组件横设在所述回液口和所述出液口之间，所述第一排废料口位于所述滤网组件和所述回液口之间。

3.如权利要求2所述的药液箱，其特征在于，所述箱体的底部还开设有第二排废料口，所述第二排废料口位于所述出液口和所述滤网组件之间。

4.如权利要求2所述的药液箱，其特征在于，所述箱体上还开设有补液口，所述补液口位于所述滤网组件朝向所述出液口的一侧。

5.如权利要求1所述的药液箱，其特征在于，所述箱体为圆柱体形箱体，在位于所述回液口和所述出液口之间的两个相对的侧壁上各设置有一个插槽结构，所述滤网组件插设于两个所述插槽中。

6.如权利要求1-5任一所述的药液箱，其特征在于，所述滤网组件包括：

挡板，所述挡板的中间区域开设有贯穿所述挡板厚度的开口；

固定安装在所述挡板的开口处的第一滤网。

7.如权利要求6所述的药液箱，其特征在于，还包括：设置于所述箱体内且位于所述挡板的上边缘的第一液位传感器，以及与所述第一液位传感器信号连接的第一控制器，所述第一控制器在所述箱体内所述滤网组件朝向所述回液口一侧的剥离药液的液位超出所述挡板的上边缘时，根据所述第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号。

8.如权利要求1-5任一所述的药液箱，其特征在于，所述滤网组件包括：边框，固定安装在所述边框上的第二滤网。

9.如权利要求8所述的药液箱，其特征在于，还包括：

设置于所述箱体内的两个第二液位传感器，两个所述第二液位传感器漂浮在所述滤网组件两侧的剥离药液上；

以及分别与两个所述第二液位传感器信号连接的第二控制器，所述第二控制器根据两个所述第二液位传感器所检测的所述滤网组件两侧的剥离药液的液位，计算获得所述滤网组件两侧的剥离药液的液位之差，并在所述液位之差大于等于设定值时发出报警信号。

10.一种光刻胶剥离设备，其特征在于，包括：过滤器，与所述过滤器连通、如权利要求1-9任一所述的药液箱。