[实用新型]一种间距记录装置有效
| 申请号： | 201420103778.0 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203773940U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 封伟博;陈雄博;吉成伟;王昕昕;罗光林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/012 | 分类号： | G11B5/012;G11B5/265 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种间距记录装置包括平面基座、伸缩单元及平面承压头；伸缩单元的一端与平面基座连接，其另一端与平面承压头连接；伸缩单元包括第一腔体和嵌套于所述第一腔体内的第二腔体；平面承压头第一表面与平面基座的第二表面平行，平面承压头第二表面与所述第二腔体相连，利用伸缩单元的伸缩性，使得在受到挤压时可以收缩变形，当挤压消除后，之前的收缩变形可以维持原状；用游标卡尺测量平面承压头的第一表面与平面基座的第二表面之间的距离来确定喷淋头与加热台之间的距离。避免气相淀积制程的测距方法中，由于铝箔球质软，易发生二次形变，使最终测量的距离精准度不高，淀积薄膜厚度不符合要求，影响产品良率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间距 记录 装置 | ||
【主权项】：
一种间距记录装置，其特征在于，包括：一平面基座、一伸缩单元及一平面承压头；所述伸缩单元的一端与所述平面基座连接；所述伸缩单元的另一端与所述平面承压头连接；其中，所述伸缩单元包括：第一腔体和嵌套于所述第一腔体内的第二腔体；所述平面承压头第一表面与所述平面基座的第二表面平行，所述平面承压头第二表面与所述第二腔体相连。
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