[实用新型]一种间距记录装置有效
| 申请号： | 201420103778.0 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203773940U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 封伟博;陈雄博;吉成伟;王昕昕;罗光林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/012 | 分类号： | G11B5/012;G11B5/265 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 间距 记录 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种间距记录装置，其特征在于，包括：一平面基座、一伸缩单元及一平面承压头；
所述伸缩单元的一端与所述平面基座连接；所述伸缩单元的另一端与所述平面承压头连接；其中，所述伸缩单元包括：第一腔体和嵌套于所述第一腔体内的第二腔体；
所述平面承压头第一表面与所述平面基座的第二表面平行，所述平面承压头第二表面与所述第二腔体相连。
2.如权利要求1所述的间距记录装置，其特征在于，所述第一腔体与所述第二腔体之间的距离小于等于0.1mm。
3.如权利要求1所述的间距记录装置，其特征在于，所述第一腔体的体壁上设置有多个螺丝，所述多个螺丝贯穿所述第一腔体的体壁。
4.如权利要求1所述的间距记录装置，其特征在于，所述平面基座的侧面设置有夹持单元。
5.如权利要求4所述的间距记录装置，其特征在于，所述夹持单元的形状为长方体或者圆柱体。
6.如权利要求1所述的间距记录装置，其特征在于，所述平面基座的形状为圆柱体、长方体或者正方体。
7.如权利要求1-6中任一项所述的间距记录装置，其特征在于，所述平面承压头的形状为圆柱体、长方体或者正方体。
8.如权利要求1-6中任一项所述的间距记录装置，其特征在于，所述间距记录装置的材质为铝镁合金。
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