[实用新型]多层喷气式金刚石膜涂层设备

摘要

本实用新型涉及一种多层喷气式金刚石膜涂层设备，包括涂层室、工件架、抽真空装置，其特征在于所述涂层室内设置有多层喷气装置，所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管。本实用新型可实现涂层室内各个位置的均匀喷气，保证工件涂层质量一致，同时还具有调节温度、可自动化操控的优点。

主权项

多层喷气式金刚石膜涂层设备，包括涂层室、工件架、抽真空装置，其特征在于：所述涂层室内设置有多层喷气装置，所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管，所述气体储存室的下部设有温度控制器，所述温度控制器的输入端与气体储存室相连，输出端通过安装在管路上的加压泵与喷气管道连接，喷气管道上设有多个带电磁阀和喷气头的喷气支路，所述喷气头连通有多个喷气细管。