[实用新型]一种新型结构的石墨舟承载销钉有效
| 申请号： | 201420065400.6 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN203683662U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 杨晓欣;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种石墨舟承载销钉，包括中心轴和夹持部分，其特征在于：所述夹持部分为切边圆弧形，所述中心轴通过卡槽及圆台形过渡与所述夹持部分连接。本实用新型提出的新型结构的石墨舟承载销钉在保证销钉的使用周期的前提下，减小了镀膜遮挡面积、提高了膜厚均匀性，降低了石墨舟的维护成本，提高了镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 石墨 承载 销钉 | ||
【主权项】：
一种石墨舟承载销钉，包括中心轴和夹持部分，其特征在于：所述夹持部分为切边圆弧形，所述中心轴通过卡槽及圆台形过渡与所述夹持部分连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
