[实用新型]非制冷长波红外探测器用吸收层结构有效
| 申请号： | 201420028407.0 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN203772418U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 欧阳程;黄志明;周炜;吴敬;高艳卿;龙芳;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/08 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种非制冷长波红外探测器用吸收层结构，该吸收层位于探测器的热敏感薄膜上，自上而下依次由第一介质层、第二金属层、第三绝缘层组成。其特征在于：第一介质层是导热性好、抗腐蚀性强的氮化硅薄膜，作为减反层和器件保护层，膜厚为1000nm–1200nm；第二金属层是膜厚为8nm–12nm的镍铬合金层，作为红外波段的吸收层；第三绝缘层是膜厚为50nm–100nm的二氧化硅薄膜，作为热敏感薄膜与金属层之间的绝缘层。该吸收层制备工艺简单，易与现有的微电子工艺兼容，适用于单元、线列及面阵红外探测器。本专利所提供的红外吸收层具有附着牢固、抗腐蚀性强、重复性好、比热容低、传热性能优异、在8–14微米红外波段具有85%以上吸收率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷 长波 红外 探测 器用 吸收 结构 | ||
【主权项】：
一种非制冷长波红外探测器用吸收层结构，它由氮化硅薄膜（1）、镍铬合金层（2）和二氧化硅薄膜（3）组成，其特征在于：所述的吸收层结构按辐射的入射顺序依次为氮化硅薄膜（1）、镍铬合金层（2）和二氧化硅薄膜（3）；其中：所述氮化硅薄膜（1）的膜厚为1000nm–1200nm；所述镍铬合金层（2）的膜厚为8nm–12nm，其方块电阻为9.0Ω/□–10.0Ω/□；所述二氧化硅薄膜（3）的膜厚为50nm–100nm。
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