[实用新型]一种化学机械抛光用配料桶有效
| 申请号： | 201420021216.1 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203650260U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王含冠;梁庆瑞;张红岩 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械抛光用配料桶，包括料桶，所述料桶底部设置有支架，顶部设置有桶盖，所述桶盖上开有投料口，所述桶盖中心垂直设置有带有搅拌器的电动搅拌泵，所述料桶下端设置有排料口，排料口处设置有阀门；所述料桶的外围设置有带有进水口和出水口的冷却水套，所述搅拌器表面设置有耐酸碱层。本实用新型结构简单，方便、快捷、实用，无需将抛光设备停机以更换抛光液，能够保证化学机械抛光工序的连续进行，省时省力，提高了工作效率，降低了生产成本；采用此配料桶配制的抛光液化学稳定性好，保证了碳化硅晶片良好的抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 配料 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光用配料桶，包括料桶（1），其特征在于：所述料桶（1）底部设置有支架（8），顶部设置有桶盖（7），所述桶盖（7）上开有投料口（5），所述桶盖（7）中心垂直设置有带有搅拌器的电动搅拌泵（6），所述料桶（1）下端设置有排料口（3），排料口（3）处设置有阀门（2）。
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