[实用新型]一种化学机械抛光用配料桶有效
| 申请号： | 201420021216.1 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203650260U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王含冠;梁庆瑞;张红岩 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 配料 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光用配料桶，包括料桶（1），其特征在于：所述料桶（1）底部设置有支架（8），顶部设置有桶盖（7），所述桶盖（7）上开有投料口（5），所述桶盖（7）中心垂直设置有带有搅拌器的电动搅拌泵（6），所述料桶（1）下端设置有排料口（3），排料口（3）处设置有阀门（2）。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光用配料桶，其特征在于：所述料桶（1）的外围设置有冷却水套（4）。
3.根据权利要求2所述的化学机械抛光用配料桶，其特征在于：所述冷却水套（4）上设置有进水口（9）和出水口（10）。
4.根据权利要求1所述的化学机械抛光用配料桶，其特征在于：所述搅拌器表面设置有耐酸碱层。
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