[实用新型]一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板有效
| 申请号： | 201420018633.0 | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN203700485U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 闫乃明;朱世元 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳力拓知识产权代理有限公司 44313 | 代理人： | 龚健 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，在真空镀膜腔室的侧壁上设有调节镀膜膜层厚度的调节手轮，调节手轮包括设置在真空镀膜腔室内部或外部的调节装置和内部的活动挡板，调节装置带动活动挡板做往复运动调节镀膜膜层厚度。本实用新型的有益效果是：设置可调节的活动挡板，可方便的调节不同节点的镀膜膜层的厚度，达到镀膜厚度一致的效果，减少了生产成本并提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安装 真空镀膜 腔室上 调节 活动 挡板 | ||
【主权项】：
一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，其特征在于：在真空镀膜腔的侧壁上设有调节镀膜膜层厚度的调节手轮（1），调节手轮（1）包括设置在真空镀膜腔室内部或者外部的调节装置和内部的活动挡板（2），调节装置带动活动挡板（2）做往复运动。
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