[发明专利]一种用于生物传感器的表面等离子芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201410855132.2 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104568848B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王艳红;武京治;赵宇;王高 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于生物传感器的表面等离子芯片，由玻璃基底的金属膜层上制作的至少一个微阵列像素组成，每个微阵列像素由周期的金属纳米线阵列组成，每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元。本发明还提供上述的生物传感器的表面等离子芯片制备方法，首先，在玻璃基底上沉积三层介质，分别为抗反射薄膜、二氧化硅薄膜和光刻胶薄膜；其次，在这些膜层上面利用电子束汽化方法沉积一层金膜层；最后，将多余的金膜层从抗反射薄膜层除去，留下具有周期的金膜线阵结构。本发明的微阵列像素是分立的金属纳米线结构，限制热传导，提高纳米结构的光热效应，提高纳米粒子的操控效率，能够探测的分子层厚度可小到纳米量级。 | ||
| 搜索关键词： | 微阵列 表面等离子 生物传感器 像素 玻璃基 金膜层 沉积 电子束 芯片 金属纳米线阵列 汽化 二氧化硅薄膜 抗反射薄膜层 光刻胶薄膜 金属纳米线 抗反射薄膜 分立单元 光热效应 金属膜层 纳米结构 纳米粒子 纳米量级 线阵结构 像素组成 芯片制备 分子层 热传导 操控 分立 金膜 膜层 三层 制备 探测 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于生物传感器的表面等离子芯片，其特征在于：由玻璃基底的金属膜层上制作的至少一个微阵列像素组成，所述的微阵列像素上面可附着被测的单层或双层蛋白质膜层，每个微阵列像素由周期的金属纳米线阵列组成，每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元，相邻的微阵列像素单元间无金属膜间隔，结合金属纳米线阵列结构的光学作用力和热作用力，使得光热效应产生的热量不因金属的热传导被扩散，而是按一定温度梯度分布在金属纳米线周围。
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