[发明专利]一种用于生物传感器的表面等离子芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种用于生物传感器的表面等离子芯片，其特征在于：由玻璃基底的金属膜层上制作的至少一个微阵列像素组成，所述的微阵列像素上面可附着被测的单层或双层蛋白质膜层，每个微阵列像素由周期的金属纳米线阵列组成，每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元，相邻的微阵列像素单元间无金属膜间隔，结合金属纳米线阵列结构的光学作用力和热作用力，使得光热效应产生的热量不因金属的热传导被扩散，而是按一定温度梯度分布在金属纳米线周围。

2.根据权利要求1所述的一种用于生物传感器的表面等离子芯片，其特征在于：所述的表面等离子芯片的微阵列像素在X方向为一维像素阵列，Y方向为多个此一维像素阵列的排列。

3.根据权利要求1所述的一种用于生物传感器的表面等离子芯片，其特征在于：所述的表面等离子芯片周期阵列衍射图样采用SP(-1，0)表面等离子模式，CCD图像传感器记录的表面等离子模式即为SP(-1，0)模式的衍射图案。

4.一种用于生物传感器的表面等离子芯片的制备方法，通过以下LIL方法实现：

首先，在玻璃基底上沉积三层介质，分别为抗反射薄膜、二氧化硅薄膜和光刻胶薄膜；

其次，在这些膜层上面利用电子束汽化方法沉积一层金膜层；

最后，将多余的金膜层从抗反射薄膜层除去，留下具有周期的金膜线阵结构，即微阵列像素组成，在微阵列像素上面可附着被测的单层或双层蛋白质膜层，每个微阵列像素由 金属纳米线阵列组成，每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元，相邻的微阵列像素单元间有的无金属膜间隔，结合金属纳米线阵列结构的光学作用力和热作用力，使得光热效应产生的热量不因金属的热传导被扩散，而是按一定温度梯度分布在金属纳米线周围。