[发明专利]一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法在审
| 申请号： | 201410848892.0 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104591549A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;赵梦娇;胡洁 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明1)通过脉冲整形方法，把传统的飞秒激光在时域上调制为包含两个子脉冲的飞秒激光脉冲序列；且两个子脉冲之间的时间间隔范围为50fs～2ps，两个子脉冲能量之比的范围为0.2～5；2)将1)所得的飞秒激光脉冲序列聚焦到玻璃材料表面，通过玻璃材料与激光焦点的相对运动，在玻璃表面扫描出所需的微阵列排布图案；3)将2)所得的带有扫描微阵列图案的玻璃材料浸入浓度为1％-10％的氢氟酸溶液中，扫描的微阵列图案区与氢氟酸溶液反应，形成凹陷的微阵列结构。从而增强飞秒激光辐照区的改性程度，最终提高辐照区的刻蚀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用飞秒 激光 脉冲 序列 玻璃 表面 加工 阵列 方法 | ||
【主权项】：
一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、通过脉冲整形的基本方法，把传统的飞秒激光在时域上调制为包含两个子脉冲的飞秒激光脉冲序列；且两个子脉冲之间的时间间隔范围为50fs～2ps，两个子脉冲能量之比的范围为0.2～5；步骤二、将步骤一所得的飞秒激光脉冲序列聚焦到玻璃材料表面，通过玻璃材料与激光焦点的相对运动，在玻璃表面扫描出所需的微阵列排布图案；步骤三、将步骤二所得的带有扫描微阵列图案的玻璃材料浸入浓度为1％‑10％的氢氟酸溶液中，扫描的微阵列图案区与氢氟酸溶液反应，形成凹陷的微阵列结构。
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