[发明专利]一种铜铝合金靶坯的制备方法

摘要

本发明涉及一种重量百分比纯度≥99.9999%的铜铝合金靶坯的制备方法，步骤包括：将重量百分比纯度99.999%金属铝和99.9999%金属铜形成合金配料，其中铝占0.127%～0.212%，并在真空度5.6×10^-3Pa～7.8×10^-3Pa和熔炼温度1200℃～1300℃条件下进行熔炼得到金属液，其中精炼时间为1min～3min，然后将金属液浇入预热温度为1150℃～1220℃的铸模内，以0.06-0.2mm/s的速度使金属液进行凝固成型，得到铜铝合金锭；对铜铝合金锭进行锻造，锻造比为8-11；退火，温度控制在300～390℃，保温时间为1.5～2h；冷轧，单道次轧制量为10%-40%，总轧制量为50%~70%；退火，温度控制在300～350℃，保温时间为0.5~1h，然后从炉中取出，进行风冷，得到铜铝合金靶坯。本发明方法制备出的铜铝合金靶坯纯度高，杂质含量低，晶粒细小、内部组织均匀。

主权项

一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤包括：（1）将重量百分比纯度99.999% 金属铝和99.9999%金属铜形成合金配料，其中铝按重量百分比计为0.127%～0.212%，并在真空度5.6×10^‑3Pa～7.8×10^‑3Pa和熔炼温度1200℃～1300℃条件下进行熔炼，然后进行精炼得到金属液，精炼时间为1min～3min，将金属液浇入预热温度为1150℃～1220℃的铸模内，以0.06‑0.2mm/s的速度使金属液进行凝固成型，得到铜铝合金锭； （2）对铜铝合金锭进行锻造；（3）退火；（4）冷轧；（5）退火，然后从炉中取出进行风冷。