[发明专利]一种铜铝合金靶坯的制备方法

权利要求书

1.一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤包括：

（1）将重量百分比纯度99.999% 金属铝和99.9999%金属铜形成合金配料，其中铝按重量百分比计为0.127%～0.212%，并在真空度5.6×10^-3Pa～7.8×10^-3Pa和熔炼温度1200℃～1300℃条件下进行熔炼，然后进行精炼得到金属液，精炼时间为1min～3min，将金属液浇入预热温度为1150℃～1220℃的铸模内，以0.06-0.2mm/s的速度使金属液进行凝固成型，得到铜铝合金锭；

 （2）对铜铝合金锭进行锻造；

（3）退火；

（4）冷轧；

（5）退火，然后从炉中取出进行风冷。

2.根据权利要求1所述的一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤（2）中锻造比为8-11。

3.根据权利要求1所述的一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤（3）中退火温度控制在300～390℃，保温时间为1.5～2h。

4.根据权利要求1所述的一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤（4）中冷轧过程中的单道次轧制量为10%-40%，总轧制量为50%~70%。

5.根据权利要求1所述的一种铜铝合金靶坯的制备方法，其特征在于步骤（5）中退火温度控制在300～350℃，保温时间为0.5~1h。