[发明专利]分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法在审
申请号: | 201410815568.9 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN104748846A | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 佐野朗;长手隆;樱井和徳;广久保望 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/26;G01J3/28;G01J3/36 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法。分光测量系统具备拍摄装置(3),具备拍摄图像的拍摄元件(312);以及分光模块(2),具备波长可变干涉滤波器以及安装部(8),安装部(8)保持波长可变干涉滤波器,并装卸自如地安装于拍摄装置(3),在向拍摄装置(3)进行安装时,安装部(8)能够将该波长可变干涉滤波器配置于向拍摄元件(312)入射的入射光的光路上。 | ||
搜索关键词: | 分光 测量 系统 模块 以及 位置 偏离 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种分光测量系统,其特征在于,具备:拍摄装置,具备拍摄图像的拍摄元件;以及分光模块,具备分光部和安装部,所述分光部从入射光选择规定波长的光并使该光出射,且能改变出射的出射光的波长,所述安装部保持所述分光部,且装卸自如地设置于所述拍摄装置,在安装于所述拍摄装置时,所述安装部使所述分光部配置于向所述拍摄元件入射的入射光的光路上。
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