[发明专利]用于显示器的彩膜基板的制造方法有效
申请号: | 201410798615.3 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN104503128B | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 赵锋 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G02F1/1333;G03F1/32 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于显示器的彩膜基板及其制造方法和彩膜基板的光罩。其中,彩膜基板包括基板本体以及设置于基板本体上的多个色阻图案,相邻的色阻图案部分重叠,其中在重叠区域,位于下方的色阻图案的厚度在向其边缘的方向上逐渐变薄。通过上述方式,可减少彩膜基板RGB相邻色阻层交叠区域的牛角段差,提高液晶效率;并且,不需要在彩膜基板RGB色阻层上增加额外的OC平坦层,降低液晶显示面板的生产成本,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 用于 显示器 彩膜基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于显示器的彩膜基板的制造方法,其特征在于,所述方法包括:提供一基板本体;在所述基板本体上涂覆色阻层,所述色阻层包括红色色阻层、绿色色阻层及蓝色色阻层,其中任意相邻的所述色阻层部分重叠,形成重叠区域;利用光罩对所述色阻层进行曝光,其中所述光罩包括遮光区域以及由所述遮光区域围设而成的透光区域,所述遮光区域的靠近所述透光区域的边缘设置有间隔排列的遮光图案,进而形成半透光的灰阶光罩区域,并使所述灰阶光罩区域对应所述重叠区域;对曝光后的所述色阻层进行显影,以获得色阻图案,其中所述重叠区域形成半曝光,以使所述色阻图案在与所述灰阶光罩区域的对应区域的厚度在向其边缘的方向上逐渐变薄。
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