[发明专利]具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201410784817.2 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN105776122B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 苏中源;郭秦辅;李宗璟;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法，可将多种感测元件整合在单一装置中。例如，本发明的微机电装置可提供具有不同的气压的两个气密空腔，以分别使微机电气压计及微机电加速度计能在最佳的气压环境下进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 气密 空腔 微机 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置，包括：基板，具有第一表面；第一盖体，设置于该基板上，且该第一盖体与该基板定义第一气密空腔；第一感测单元，包含悬浮于该基板上方的可动质量块；第二盖体，设置于该基板上，且该第二盖体与该基板定义第二气密空腔；其中，该第一气密空腔包覆该第一感测单元及该第二盖体，该第一感测单元设置于该第二气密空腔之外，该第一气密空腔中的气压与该第二气密空腔中的气压不同。
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