[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体

摘要

本发明提供物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，物理量传感器能够实现低高度化和低成本化，压力传感器、高度计、电子设备和移动体具有该物理量传感器。本发明的物理量传感器具有：半导体基板(61)；隔膜部(64)，其配置在半导体基板(61)上，由于受压而发生挠曲变形；传感器元件(7)，其配置在隔膜部(64)上；元件周围构造体(8)，其配置于半导体基板(61)的一个面侧，与隔膜部(64)一起形成了空腔部(5)；以及半导体电路(9)，其设置于半导体基板(61)的与元件周围构造体(8)同一面侧。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：半导体基板；隔膜部，其配置在所述半导体基板上，由于受压而发生挠曲变形；传感器元件，其配置在所述隔膜部上；壁部，其配置于所述半导体基板的一个面侧，与所述隔膜部一起构成了腔体；以及电路部，其设置于所述半导体基板的与所述壁部同一面侧。