[发明专利]一种用于真空杯内壁镀膜的二极溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201410765333.3 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104388905A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 施戈;彭建;陈良贤 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/36 | 分类号： | C23C14/36 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 102212 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空杯内壁镀膜的二极溅射镀膜设备，包括支架、溅射镀膜装置、真空装置，其中溅射镀膜装置设置于支架上，真空装置与溅射镀膜装置一端连接，溅射镀膜装置中设有若干杯具工装，可匹配不同的溅射电极，本发明的有益效果是：适用于不同大小和形状的真空杯，设备结构简单好维护，连续性好，多工件同参数加工，生产效率高且镀层质量的一致性好，另外，由于溅射电极可自由更换，沉积温度等关键参数可任意调整，镀层质量和组分可调整，而且一旦未来开发出更先进的抑菌镀层，这种设备将十分有利于新抑菌镀层的更新换代和快速形成产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 内壁 镀膜 二极 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种用于真空杯内壁镀膜的二极溅射镀膜设备，包括支架、溅射镀膜装置、抽真空装置，溅射镀膜装置设置于支架上，抽真空装置与溅射镀膜装置一端连相连，其特征在于，所述溅射镀膜装置包括，真空室、加热装置及若干杯具工装，真空室固定在支架上，加热装设置于真空室内部侧壁上，杯具工装穿透真空室底端。
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