[发明专利]一种制备纳米Ti02薄膜的方法

摘要

本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体涉及一种利用溶胶-凝胶法制备纳米Ti02薄膜的方法。一种制备纳米Ti02薄膜的方法，采用如下步骤：制备前驱液；制备Ti02溶胶；制备多层薄膜；镀完所以膜后，将玻片在100℃下干燥30min；在马弗炉中以3℃/min-4℃／min速度升温至540℃，保温1h；在炉内自然冷却至室温，即可得到纳米Ti02薄膜。本发明方法简单，易于操作，通过本发明提供的方法获得的纳米Ti02薄膜，薄膜表面光滑，颗粒较均匀且达到纳米级颗粒。

主权项

一种制备纳米Ti02薄膜的方法，其特征在于：采用如下步骤：（1）制备前驱液：用离子水和乙醇超声清洗玻片，放于干燥皿备用；在室温25℃左右，湿度55％下；以25mmx75mm玻片为基体，纯度98％的钛酸丁脂为先驱体，99.7％二乙醇胺为络合剂、99.7％无水乙醇为溶剂；将Ti(OC4H9)4和螯合剂二乙醇胺以4：1比例同时滴加到无水乙醇烧杯中，搅拌2h，45℃恒温，得到均匀透明淡黄色前驱液；（2）制备Ti02溶胶：将2ml蒸馏水和10ml无水乙醇配成混合溶液，搅拌中滴加1m1 HN03至pH值为3的溶液滴加液，将滴加液以1～2滴/s速率滴加到前驱液中，成均匀透明淡黄色Ti02溶胶，搅拌0.5h，放置陈化12h待用；（3）制备多层薄膜：用机械式提升机将玻片浸渍Ti02溶胶中，浸泡一定时间后，以1.98 mm/s的速度提升玻片，并放入温度为100℃的烘箱中干燥5min，其发生水解反应、缩聚反应，在玻片上形成凝胶，在无尘空气中冷却5min，制备多层薄膜；（4）镀完所以膜后，将玻片在100℃下干燥30min；（5）在马弗炉中以3℃/min‑4℃／min速度升温至540℃，保温1h；（6）在炉内自然冷却至室温，即可得到纳米Ti02薄膜。