[发明专利]钙钛矿型材料制备方法和设备及其光伏器件的加工方法

摘要

本发明涉及一种钙钛矿型材料的制备方法和设备以及使用该材料的光伏器件加工方法。其中，提出了一种以气相‑固相反应来制备钙钛矿型材料的方法以及以蒸镀法来制备沉积有前体BX2膜的基体的方法，同时还提出了一种用于上述方法的专用设备。上述钙钛矿型材料的制备方法可以用于光伏元件的加工，得到具备优良光电性质的光伏元件。

主权项

一种钙钛矿型材料的制备方法,该方法包括如下步骤:步骤1，制备沉积有前体BX2膜的基体；步骤2，将所制备的沉积有前体BX2膜的基体和前体AX置于压力和温度可控的反应炉中，并通过压力控制装置将反应炉的压力控制到接近真空状态，其中，所述前体AX与沉积有所述前体BX2膜的基体相对设置；步骤3，通过控制加热温度，使得前体AX成气态，其与固态的前体BX2膜发生气相‑固相反应，生成具有钙钛矿型结构的ABX3膜；步骤4，对所生成的钙钛矿型结构的ABX3膜进行退火；其中，A为CH3NH3‑、HCONH3‑、HN＝CH NH3‑中的一种，B为Pb、Sn中的一种或者其混合物，X为I、Cl、Br、IxBryCl3‑x‑y(0≤x、y≤3)中的一种。