[发明专利]一种集成电路芯片清洗液及其制备方法在审
| 申请号： | 201410674199.6 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104450332A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 熊开胜;张海防;谢建庭 | 申请（专利权）人： | 苏州东辰林达检测技术有限公司 |
| 主分类号： | C11D10/02 | 分类号： | C11D10/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 215101 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成电路芯片清洗液及其制备方法，清洗液包括以下组分：壬基酚聚氧乙基醚，柠檬酸，二甘醇，甲醇，二氯甲烷，三氟三氯乙烷，烷基醇酰胺，EDTA，三乙醇胺，氨基磺酸，乙醇。制备方法为将壬基酚聚氧乙基醚、柠檬酸、二甘醇、甲醇和EDTA加入反应釜中，在真空加热条件下搅拌混合得到混合物一，再将二氯甲烷、三氟三氯乙烷、烷基醇酰胺和三乙醇胺加入到密闭容器中，在真空条件下加热共沸得到混合物二，最后将混合物一与混合物二相混合，加入氨基磺酸和乙醇，搅拌混合均匀，得到集成电路芯片清洗液。本发明提供的清洗液漂洗性能优良，泡沫小，不影响电路芯片，粘度低，可以广泛应用于集成电路芯片的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 芯片 清洗 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成电路芯片清洗液，其特征在于，以重量份计包括：壬基酚聚氧乙基醚1‑5份，柠檬酸0.8‑3份，二甘醇10‑20份，甲醇5‑10份，二氯甲烷10‑20份，三氟三氯乙烷8‑15份，烷基醇酰胺2‑8份，EDTA 1‑4份，三乙醇胺1‑5份，氨基磺酸1‑4份，乙醇10‑20份。
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