[发明专利]基于模糊扰动补偿直接驱动XY平台轮廓控制装置及方法

摘要

本发明提供一种基于模糊扰动补偿直接驱动XY平台轮廓控制装置及方法，该装置包括主电路、控制电路和控制对象三部分,主电路分别连接控制电路和控制对象，控制电路也连接控制对象；本发明的优点在于当系统轮廓误差模型不准确，以及参数不确定时，系统仍然可以实现精确的位置跟踪。本发明利用了模糊系统以任意精度逼近非线性函数的能力，发明了模糊扰动补偿器。通过补偿器对未知干扰和参数不确定性进行估计及补偿,同时利用状态观测器逼近并补偿建模、求逆误差，降低了控制器对干扰器和模型精确度的要求，提高了跟踪精度。

主权项

一种基于模糊扰动补偿直接驱动XY平台轮廓控制装置，其特征在于：该装置包括主电路、控制电路和控制对象三部分,主电路分别连接控制电路和控制对象，控制电路也连接控制对象；控制电路包括DSP处理器、电流采样电路、动子位置采样电路、IPM隔离驱动保护电路；主电路包括调压电路、整流滤波单元和IPM逆变单元；控制对象为三相永磁直线同步电机，机身装有光栅尺；电流采样电路、动子位置采样电路、IPM隔离驱动保护电路均连接至DSP处理器，DSP处理器通过电压调整电路连接至整流滤波单元，整流滤波单元连接IPM逆变单元，IPM逆变单元连接三相永磁直线同步电机，三相永磁直线同步电机连接动子位置采样电路，IPM逆变单元连接IPM隔离驱动保护电路，电流采样电路通过霍尔传感器连接至IPM逆变单元与三相永磁直线同步电机之间。