[发明专利]一种气体传感器芯片在审

专利信息
申请号: 201410644774.8 申请日: 2014-11-14
公开(公告)号: CN104391007A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 禹胜林 申请(专利权)人: 无锡信大气象传感网科技有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 214135 江苏省无锡市无锡国家高新技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种气体传感器芯片,包括覆盖板、压电基板、电极传感板、气敏感膜以及电阻加热电极,其中,所述电极传感板设置在压电基板之间,所述压电基板设置在覆盖板之间,所述覆盖板和压电基板组成电极导电带,所述电极传感板和覆盖板组成另一电极导电带,所述电阻加热电极设置在两个电极导电带之间,所述气敏感膜覆于压电基板上。本发明具有灵敏度高,响应快,选择性好,结构简单,寿命长等特点,并可针对任何气体进行设计,弥补了传统气体传感器性能不能兼顾的缺点。
搜索关键词: 一种 气体 传感器 芯片
【主权项】:
一种气体传感器芯片,其特征在于,包括覆盖板、压电基板、电极传感板、气敏感膜以及电阻加热电极,其中,所述电极传感板设置在压电基板之间,所述压电基板设置在覆盖板之间,所述覆盖板和压电基板组成电极导电带,所述电极传感板和覆盖板组成另一电极导电带, 所述电阻加热电极设置在两个电极导电带之间,所述气敏感膜覆于压电基板上。
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