[发明专利]一种双e型电子枪的蒸镀装置及利用该装置进行蒸镀方法有效
| 申请号： | 201410631828.7 | 申请日： | 2014-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104357799A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;李鹏廷;姜大川;王登科 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李娜;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双e型电子枪的蒸镀装置及利用该装置进行蒸镀方法，属于电子蒸镀领域。一种双e型电子枪的蒸镀装置，所述装置包括蒸镀室，蒸镀室内设有两个双e型电子枪，e型电子枪I用于加热基板，e型电子枪II用于轰击镀膜材料。该装置设备简单、操作简单，能够提高膜层与基体之间的粘合力；可以实现单一膜层与基体之间的高粘合力，而不必进行多层镀膜提高性能膜层与基体之间的粘合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 装置 利用 进行 方法 | ||
【主权项】：
一种双e型电子枪的蒸镀装置，其特征在于：所述装置包括蒸镀室，蒸镀室内设有两个双e型电子枪，e型电子枪I(1)用于加热基板(5)，e型电子枪II(3)用于轰击镀膜材料(7)。
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