[发明专利]基于MEMS开关的程控步进衰减器

摘要

本发明涉及微波通讯领域中的衰减器，具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器，包括三组T型网络衰减单元，三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关，T型网络衰减单元还包括衰减模块，通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对微波信号进行衰减。本发明提供的衰减器，以MEMS工艺为基础，可以做到更小的尺寸，适合更高的工作频段，与通用的IC工艺有着很好的兼容性；以MEMS开关作为切换器件，反应更灵敏，可靠性更高；通过调节波导长度与开关电容尺寸，可以在开关的不同状态下更好的实现特征阻抗的匹配，从而达能够到更高的精度；相比LTCC，工艺更加简单，在高频段器件中有着更好的应用。

主权项

基于MEMS开关的程控步进衰减器，其特征在于包括第一T型网络衰减单元、第二T型网络衰减单元和第三T型网络衰减单元，第一T型网络衰减单元、第二T型网络衰减单元和第三T型网络衰减单元都包括衰减开关（1）和短路开关（2），第一T型网络衰减单元还包括第一衰减模块（3），第二T型网络衰减单元还包括第二衰减模块（4），第三T型网络衰减单元还包括第三衰减模块（5）；第一衰减模块（3）的输出端通过信号传输线（9）和第二衰减模块（4）的输入端连接，第二衰减模块（4）的输出端通过信号传输线（9）和第三衰减模块（5）的输入端连接，第一衰减模块（3）的输入端作为信号输入端，第三衰减模块（5）的输出端作为信号输出端；衰减开关（1）和短路开关（2）都包括介质层（10），衰减开关（1）和短路开关（2）的介质层（10）顶面中部都设有控制信号下拉电极（14），控制信号下拉电极（14）通过控制信号输入线（8）和控制信号输入电极（6）连接，衰减开关（1）的介质层（10）顶面上一侧设有接地线（7），另一侧设有信号传输线，该信号传输线和对应衰减模块的衰减输出端连接，介质层（10）顶面上还设有和接地线连接的开关锚区（11），开关锚区（11）的顶部上设有板面和控制信号下拉电极相对的开关下拉基板（12），介质层顶面另一侧的信号传输线上设有触点（16），触点（16）顶部和开关下拉基板的一侧端部板面相对；短路开关（2）的介质层（10）顶面上一侧连接有左信号传输线（13），另一侧设有右信号传输线（17），左信号传输线（13）和对应衰减模块的信号输入端连接，右信号传输线（17）和对应衰减模块的信号输出端连接，介质层（10）顶面上还设有和左信号传输线（13）连接的开关锚区（11），开关锚区（11）的顶部上设有板面和控制信号下拉电极相对的开关下拉基板（12），介质层顶面右侧的有信号传输线上设有触点（16），触点（16）顶部和开关下拉基板（12）的一侧端部板面相对。