[发明专利]旋转工作台的吸嘴升降驱动机构有效

专利信息
申请号: 201410599736.5 申请日: 2014-10-31
公开(公告)号: CN104332434A 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 李永备;蒋艳丽;张磊 申请(专利权)人: 扬州泽旭电子科技有限责任公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 秦关华
地址: 225200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,涉及半导体元件生产领域。包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆;所述顶杆滑块座的一侧连接有水平设置的固定轴,固定轴上连接有轴承,电机的输出轴上连接有升降凸轮;所述滑轨座与顶杆滑块座之间连接有复位压簧。本发明的吸嘴升降是通过电机驱动升降凸轮下压轴承实现的,通过升降凸轮的圆弧曲面逐渐下压轴承,避免了吸嘴的快速下行对半导体元件造成的冲击,减少了半导体元件的损坏,提高了经济效益。
搜索关键词: 旋转 工作台 升降 驱动 机构
【主权项】:
旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,其特征在于:包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆;所述顶杆滑块座的一侧连接有水平设置的固定轴,固定轴上连接有轴承,所述电机的输出轴向下延伸到电机支架的下方,电机的输出轴上连接有升降凸轮,所述升降凸轮包括空心圆柱体,空心圆柱体的下端一侧设置有升降压块,所述升降压块与电机旋转方向相同的一侧端面为弧形曲面,电机旋转带动升降压块的弧形曲面下压轴承带动顶杆滑块座下行;所述滑轨座与顶杆滑块座之间连接有复位压簧。
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