[发明专利]旋转工作台的吸嘴升降驱动机构有效
申请号: | 201410599736.5 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN104332434A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 李永备;蒋艳丽;张磊 | 申请(专利权)人: | 扬州泽旭电子科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 秦关华 |
地址: | 225200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,涉及半导体元件生产领域。包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆;所述顶杆滑块座的一侧连接有水平设置的固定轴,固定轴上连接有轴承,电机的输出轴上连接有升降凸轮;所述滑轨座与顶杆滑块座之间连接有复位压簧。本发明的吸嘴升降是通过电机驱动升降凸轮下压轴承实现的,通过升降凸轮的圆弧曲面逐渐下压轴承,避免了吸嘴的快速下行对半导体元件造成的冲击,减少了半导体元件的损坏,提高了经济效益。 | ||
搜索关键词: | 旋转 工作台 升降 驱动 机构 | ||
【主权项】:
旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,其特征在于:包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆;所述顶杆滑块座的一侧连接有水平设置的固定轴,固定轴上连接有轴承,所述电机的输出轴向下延伸到电机支架的下方,电机的输出轴上连接有升降凸轮,所述升降凸轮包括空心圆柱体,空心圆柱体的下端一侧设置有升降压块,所述升降压块与电机旋转方向相同的一侧端面为弧形曲面,电机旋转带动升降压块的弧形曲面下压轴承带动顶杆滑块座下行;所述滑轨座与顶杆滑块座之间连接有复位压簧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造