[发明专利]喷淋蚀刻机

摘要

喷淋式蚀刻机，包括机体以及与机体的连接的药液循环系统，其中，机体主要由清洗区，与清洗区紧密衔接的蚀刻区两部分组成，清洗区和蚀刻区上方均设置有喷淋装置，清洗区侧板下方设置有同步带传送装置，蚀刻区右下方设置有伺服驱动电机，机体下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的滑轨，滑轨上配装有托盘，机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽，药液循环系统主要由DA水罐体、化学药液罐体以及相应的管道、阀门以及循环泵组成；本发明在蚀刻玻璃面板的过程中，可以对药液的温度、压力、流量等实行全自动控制，对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻，工作过程中，无需人工操作，清洗、蚀刻全部自动完成，蚀刻精度和效率得到显著提升。

主权项

喷淋式蚀刻机，其特征在于：该机包括机体（1）以及与机体（1）的连接的药液循环系统（2），其中，机体（1）主要由清洗区（10），与清洗区（10）紧密衔接的蚀刻区（11）两部分组成，所述清洗区（10）与蚀刻区（11）均设置有相应的清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110），清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110）把清洗区（10）和蚀刻区（11）隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区（10）上方设置有清洗喷淋装置（101），清洗区（10）侧板下方设置有同步带传送装置（102），所述蚀刻区（11）上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置（111），蚀刻区（11）右下方设置有伺服驱动电机（112），所述机体（1）下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的滑轨（13），滑轨（13）配装有相适应的托盘（14），机体（1）两侧侧板下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的回型防水槽（15）；药液循环系统（2）主要由DA水罐体（20）、化学药液罐体（21）以及与机体（1）相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体（21）上设置有液位指示器（210）、底部设置有加热器（211），顶部设置有冷却水连接器（214）以及恒温传感装置（216）。