[发明专利]喷淋蚀刻机

权利要求书

1.喷淋式蚀刻机，其特征在于：该机包括机体（1）以及与机体（1）的连接的药液循环系统（2），其中，

机体（1）主要由清洗区（10），与清洗区（10）紧密衔接的蚀刻区（11）两部分组成，所述清洗区（10）与蚀刻区（11）均设置有相应的清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110），清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110）把清洗区（10）和蚀刻区（11）隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区（10）上方设置有清洗喷淋装置（101），清洗区（10）侧板下方设置有同步带传送装置（102），所述蚀刻区（11）上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置（111），蚀刻区（11）右下方设置有伺服驱动电机（112），所述机体（1）下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的滑轨（13），滑轨（13）配装有相适应的托盘（14），机体（1）两侧侧板下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的回型防水槽（15）；

药液循环系统（2）主要由DA水罐体（20）、化学药液罐体（21）以及与机体（1）相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体（21）上设置有液位指示器（210）、底部设置有加热器（211），顶部设置有冷却水连接器（214）以及恒温传感装置（216）。

2.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述清洗区（10）与蚀刻区（11）下方设置有贯穿机体（1）的牙嵌状承载结构（12）。

3.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述清洗区驱动门（100）由设置在清洗区（10）进料侧的驱动电机（1000）、导向轮（1001）以及齿轮齿条机构（1002）共同控制。

4.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻区驱动门（110）由设置在蚀刻区（11）进料侧的驱动电机、导向轮、以及齿轮齿条机构共同控制。

5.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻喷淋装置（111）主要由横管（1110）、纵管（1112）以及布置在横管（1110）与纵管（1112）之间的喷淋管（1113）组成，纵管（1112）上方连接有进液管，进液管上方设置有快速拆装的活接头（1115），纵管（1112）下方设置有导轮（1114），纵管（1112）与喷淋管（1113）之间设置有加强筋板（1111）。

6.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述伺服驱动电机（112）输出端连接有减速器，减速器输出端连接有同步带轮，同步带轮通过同步带与设置在清洗区（10）下方的同步带传送装置（102）相配合。

7.根据权利要求1或5所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻喷淋装置（111）还设置有呈方形阵列形状的可拆卸喷嘴单元，喷嘴单元设置在喷淋管（1113）的下方。

8.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述化学药液罐体（21）上方还设置有加液口（213）和药液回流口（215），侧面设置有出液口（212）。

9.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述机体（1）数量为2-6个，所述化学药液罐体（21）数量为2个。

10.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于：所述机体（1）表面及内部各结构均采用PVC材料包裹。