[发明专利]喷淋蚀刻机

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于TFT-LCD面板加工领域的喷淋式蚀刻机。

背景技术

喷淋式蚀刻机主要应用于TFT-LCD面板的薄化，通过减小玻璃厚度，从而达到使最终产品更轻更薄、显示色彩更加炫丽、触控操作更加灵敏的作用，喷淋式蚀刻机是TFT-LCD面板制造过程的关键设备之一。随着目前国内外手机、平板电脑、照相机、摄像机等行业升温和产量增加，市场对TFT-LCD面板的需求与日剧增，TFT-LCD面板制造企业对液晶面板薄化工序设备的需求将越来越多，因此，液晶面板薄化成套设备的市场前景非常广阔。目前，国内没有掌握液晶面板薄化核心技术，不能生产液晶面板薄化成套设备，全球仅有美国、日本、韩国等少数国家能生产此类设备，国内所有同类设备均从韩国和日本进口。

发明内容

本发明针对上述技术现状，通过不断进行技术创新，在引进和借鉴日本、韩国此类设备先进技术的基础上，积极开拓，开发了一种喷淋式蚀刻机，该机采用喷淋式蚀刻减薄技术，比传统的研磨式、浸泡式有着明显优势，具有重大技术创新突破，在同类产品中达到了国际先进水平。

为了实现发明的最终目的，拟采用以下技术：

喷淋式蚀刻机，包括机体（1）以及与机体（1）的连接的药液循环系统（2），其中，

机体（1）主要由清洗区（10），与清洗区（10）紧密衔接的蚀刻区（11）两部分组成，所述清洗区（10）与蚀刻区（11）均设置有相应的清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110），清洗区驱动门（100）和蚀刻区驱动门（110）把清洗区（10）和蚀刻区（11）隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区（10）上方设置有清洗喷淋装置（101），清洗区（10）侧板下方设置有同步带传送装置（102），所述蚀刻区（11）上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置（111），蚀刻区（11）右下方设置有伺服驱动电机（112），所述机体（1）下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的滑轨（13），滑轨（13）配装有相适应的托盘（14），机体（1）两侧侧板下方设置有贯穿清洗区（10）与蚀刻区（11）的回型防水槽（15）；

本发明通过机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽，工作过程中，回型防水槽通入循环水，使得伺服电机、减速器、同步带传送装置与清洗区和蚀刻区隔离开，有效保护了伺服电机、减速器、同步带传送装置，减少了酸雾对其的腐蚀，延长了伺服电机、减速器、同步带传送装置的使用寿命。

药液循环系统（2）主要由DA水罐体（20）、化学药液罐体（21）以及与机体（1）相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体（21）上设置有液位指示器（210）、底部设置有加热器（211），顶部设置有冷却水连接器（214）以及恒温传感装置（216）。

为达到减轻整机重量之目的，同时不失整机强度，所述清洗区（10）与蚀刻区（11）下方设置有贯穿机体（1）的牙嵌状承载结构（12）。

为达到自动控制之目的，所述清洗区驱动门（100）由设置在清洗区（10）进料侧的驱动电机（1000）、导向轮（1001）以及齿轮齿条机构（1002）共同控制。

同样道理，所述蚀刻区驱动门（110）由设置在蚀刻区（11）进料侧的驱动电机、导向轮、以及齿轮齿条机构共同控制，控制原理同清洗区驱动门（100）。

为方便后期保养、维修之目的，所述蚀刻喷淋装置（111）可在蚀刻区（11）上活动拆卸，蚀刻喷淋装置（111）在结构上主要由横管（1110）、纵管（1112）以及布置在横管（1110）与纵管（1112）之间的喷淋管（1113）组成，纵管（1112）上方连接有进液管，进液管上方设置有快速拆装的活接头（1115），纵管（1112）下方设置有导轮（1114），纵管（1112）与喷淋管（1113）之间设置有加强筋板（1111）。

为使托盘（14）在清洗区（10）和蚀刻区（11）运动速度适中且托盘（14）在两条滑轨（13）运动平稳，所述伺服驱动电机（112）输出端连接有减速器，减速器输出端连接有同步带轮，同步带轮通过同步带与设置在清洗区（10）下方的同步带传送装置（102）相配合。

为达到双面瀑布蚀刻流效果，所述蚀刻喷淋装置（111）还设置有呈方形阵列形状的可拆卸喷嘴单元，喷嘴单元设置在喷淋管（1113）的下方。

进一步地，所述化学药液罐体（21）上方还设置有加液口（213）和药液回流口（215），侧面设置有出液口（212）。