[发明专利]双范围高精度压力传感器有效
| 申请号： | 201410560619.8 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN104713675B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | R.C.科斯伯格;J.诺维基 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 董均华;谭祐祥 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有两个或更多个压力范围的高精度压力传感器由多个微机电系统(MEMS)压力转换器形成，所述压力转换器安装在外壳内部且联接以感测加压流体。MEMS压力转换器的非线性输出由对应的多个处理器(优选DSP)线性化，每个处理器联接到对应的MEMS压力转换器并且从其接收MEMS压力转换器输出信号。每个处理器生成被施加压力输出信号，该信号表示施加到MEMS压力转换器的压力，其为来自MEMS压力转换器的输出信号的线性化和数字化版本。从多个处理器输出的数据在串行数据总线上串行地传输，其中每个处理器输出与不同压力范围有关的压力数据。 | ||
| 搜索关键词： | 范围 高精度 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：外壳，其包括配置成接收加压流体的流体端口；多个微机电系统(MEMS)压力转换器，其安装在所述外壳内部并且联接到所述流体端口，每个微机电系统(MEMS)压力转换器配置成响应于通过所述流体端口施加到微机电系统(MEMS)压力转换器的压力而生成微机电系统(MEMS)压力转换器输出信号；单个硅芯片，其包括多个处理器，每个处理器联接到对应的微机电系统(MEMS)压力转换器并且从所述对应的微机电系统(MEMS)压力转换器接收所述微机电系统(MEMS)压力转换器输出信号，每个处理器配置成生成被施加压力输出信号，所述被施加压力输出信号表示施加于联接到处理器的所述微机电系统(MEMS)压力转换器的压力，所述被施加压力输出信号所具有的值由对具有多个系数的多项式求值的处理器确定，所述多项式的所述系数对于表示微机电系统(MEMS)压力转换器输出信号的值操作。
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