[发明专利]用于量测机台的派货的方法和系统有效
| 申请号： | 201410553971.9 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN105575838B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 赵晨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于量测机台的派货的方法和系统。所述方法包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测。上述方法和系统使上游的各个机台能够均衡地及时地获得反馈，从而大大提高了生产效率，降低了质量风险。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机台 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于量测机台的派货的方法，包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测；所述均衡排序进一步包括：将所述待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；分别计算所述多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中所述量测反馈差值定义为所述多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及将所述量测反馈差值最小的候选序列确定为所述均衡排序的排序结果。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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