[发明专利]一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺在审
| 申请号： | 201410547077.0 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN105565323A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张伟;银波;张吉武;陈朝霞;黄彬 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B3/50 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺包括以下步骤：将尾气在第一催化剂的催化作用下，发生尾气中的氯化氢与二氯二氢硅的反应，得到第一混合物；将第一混合物冷却到-5～55℃，分别得到第一液体混合物、第一气体混合物；将第一气体混合物在第二催化剂的催化作用下，发生尾气中的二氯二氢硅与四氯化硅的反应，得到第二混合物；将第二混合物冷却到-40～-10℃，分别得到第二液体混合物、第二气液混合物；将第二气液混合物进行气液分离，分别得到第三气体混合物、第三液体混合物，其中，第三气体混合物的主要组分为氢气。避免了现有技术中回收工艺对尾气中的氯化氢的吸收和解析，及尾气中的二氯二氢硅进入后续氯硅烷的精馏提纯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产过程 中的 尾气 回收 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺，其特征在于，包括以下步骤：将多晶硅生产过程中的尾气在第一催化剂的催化作用下，发生所述尾气中的氯化氢与二氯二氢硅的反应，得到第一混合物；将所述第一混合物冷却到‑5～55℃，分别得到第一液体混合物、第一气体混合物；将所述第一气体混合物在第二催化剂的催化作用下，发生所述尾气中的二氯二氢硅与四氯化硅的反应，得到第二混合物；将所述第二混合物冷却到‑40～‑10℃，分别得到第二液体混合物、第二气液混合物；将所述第二气液混合物进行气液分离，分别得到第三气体混合物、第三液体混合物，其中，所述第三气体混合物的主要组分为氢气。
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