[发明专利]阵列基板

摘要

一种包括具有氧化物半导体层的薄膜晶体管的阵列基板，包括：形成在所述阵列基板上并界定像素区域的栅极线和数据线，其中所述薄膜晶体管位于所述像素区域的器件区域中；布置于所述阵列基板上的所述器件区域中的遮光图案；与所述遮光图案连接并给所述遮光图案提供恒定电压的辅助线，其中所述辅助线平行于所述栅极线和数据线之一并与之间隔开；位于所述遮光图案和所述阵列基板的表面上的无机材料的缓冲层，其中所述氧化物半导体层位于所述缓冲层和所述遮光图案上；位于所述缓冲层上的层间绝缘层，其中所述氧化物半导体层包括完全位于所述遮光图案上且其上形成有沟道的有源部以及位于所述有源部侧边上的导电部。

主权项

一种包括具有氧化物半导体层的薄膜晶体管的阵列基板，包括：栅极线和数据线，其形成在所述阵列基板上并界定像素区域，其中所述薄膜晶体管位于所述像素区域的器件区域中；遮光图案，其布置于所述阵列基板上的所述器件区域中；辅助线，其与所述遮光图案连接并给所述遮光图案提供恒定电压，其中所述辅助线平行于所述栅极线和数据线之一并与之间隔开；无机材料的缓冲层，其位于所述遮光图案和所述阵列基板的表面上，其中所述氧化物半导体层位于所述缓冲层和所述遮光图案上；层间绝缘层，其位于所述缓冲层上，其中所述氧化物半导体层包括有源部和导电部，所述有源部完全位于所述遮光图案上且其上形成有沟道，所述导电部位于所述有源部的侧边上。