[发明专利]一种超纯氩气在线净化系统及方法

摘要

本发明公开了一种超纯氩气在线净化系统及方法，属于气体净化领域。技术方案为：将锆钒铁合金材料，涂镀到康铜合金条上，将合金条打褶成折叠形状，安装于法兰盘的专用支架及骨架固定，再装入不锈钢圆筒，形成非蒸散型氩气净化装置；通过相关接口和控制阀门与高纯瓶装氩气和终端设备相连，组成超纯氩在线净化系统；利用设备的真空检测和控制系统，实现净化装置吸气剂的在线激活或活化。应用证明：该净化系统和方法可在线获得99.999999%（W/W）的超纯氩气，系统净化效果良好，可使氩气中的活性及中性杂质气体均能从几十个ppm减少到ppb量级，系统工作温度较低，一般在160～200℃，不需水冷，使用安全方便。

主权项

一种超纯氩气在线净化系统，包括终端设备，终端设备包括真空室（7）、前级泵（9）、分子泵（8）和真空计，其特征在于：高压气瓶（17）中的高纯氩气经减压阀（16）调至工作气压，经输入阀（15）至净化器（11）净化后，经由输出调节阀（12）调至工作气压，输送到终端设备的真空室（7）；净化器（11）通过隔离阀（13）与终端设备的真空室（7）相连，通过初抽阀（14）与分子泵（8）和前级泵（9）相连，其目的在于：充分利用终端设备的真空系统，对净化器（11）进行工作前的清洗、激活和活化除气，以确保净化器（11）洁净的工作环境；温控器（10）与净化器（11）连接，在净化器（11）激活、活化、净化过程中，提供温度检测与控制。