[发明专利]物理量检测元件、以及物理量检测装置、电子设备、移动体在审
| 申请号： | 201410525098.2 | 申请日： | 2014-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN104515870A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 木暮翔太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供物理量检测元件、以及物理量检测装置、电子设备、移动体。物理量检测元件具备：基板；第一固定电极部以及第二固定电极部，其被设置于所述基板上；可动体，其被设置于所述基板的上方；梁，其被设置于所述可动体上，在所述可动体的、相对于所述梁的一方设置有第一可动体，在相对于梁的另外一方设置有第二可动体，第一可动体包括第一可动电极部和第一质量部，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部对置，所述第一质量部从所述第一可动电极部起被配置于与所述梁相反的方向上，所述第二可动体包括与所述第二固定电极部对置的第二可动电极部，第一可动体(20a)的质量重于第二可动体(20b)的质量，第一质量部(23)的质量重于第一可动电极部(21)的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 元件 以及 装置 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量检测元件，其特征在于，具备：基板；第一固定电极部以及第二固定电极部，其被设置于所述基板上；可动体，其被设置于所述基板的上方；梁，其被设置于所述可动体上，在所述可动体的、相对于所述梁的一方设置有第一可动体，在相对于所述梁的另一方设置有第二可动体，所述第一可动体包括第一可动电极部和第一质量部，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部对置，所述第一质量部从所述第一可动电极部起朝向与所述梁相反的方向被配置，所述第二可动体包括与所述第二固定电极部对置的第二可动电极部，所述第一可动体的质量重于所述第二可动体的质量，所述第一质量部的质量重于所述第一可动电极部的质量。
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