[发明专利]一种直写式光刻系统倾斜扫描拼接方法

摘要

本发明是基于数字微镜(Digital Micromirror Device,DMD)的直写式光刻设备，提出了一种改善拼接效果的方法。现有直写式光刻设备采用倾斜扫描方式，造成DMD在左右两个方向均有两个未被利用的三角区域，通过三角区域填充有效图，结合DMD前后有64个无镜片的CMOS物理特性，这样会在相邻条带边沿处产生灰度叠加的效果，与现有技术相比较，改善了条带间的拼接，提高了图形质量，同时，提高了镜片的利用率，便于在产业上推广和应用。

主权项

一种直写式光刻系统倾斜扫描拼接方法，其特征在于，所述方法包括：(1)设M代表DMD的实际利用行数，N代表倾斜因子，则DMD以水平方向artan(1/N)的角度倾斜安装；(2)根据倾斜因子N和DMD的实际行数M确定上位机在处理每个曝光条带数据的宽度1920+M/N，以及本条带与下一个条带之间数据重合部分的宽度M/N，同时上位机会向下位机发送每个曝光条带的实际有效宽度S；(3)在倾斜扫描中，下位机每隔N行，数据向右移一位，当前位补零，数据在移动之后，溢出镜片位置的部分数据，在下一条带重新发送；(4)下位机按照接收到所述曝光条带的实际有效宽度S，所述S以内的数据与1相与运算，所述S以外的数据与0相与运算。其中，所述上位机需要对相邻两个曝光条带重合的数据进行重复发送，重复发送的数据宽度为M/N。