专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]LDI外层对位方法及装置-CN201611061208.X有效
  • 刘洋 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2019-05-14 - G03F9/00
  • 本发明提供了一种LDI外层对位方法及装置,涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域,其中,一种LDI外层对位方法,包括以下步骤:获取置于工作台上的PCB板的至少两个对位孔实际坐标;获取电子图纸中与所述实际对位孔相对应的对位孔图纸坐标;通过所述对位孔实际坐标和所述对位孔图纸坐标计算所述电子图纸的校正参数,根据所述校正参数对电子图纸进行校正;将所述PCB板反转,重复执行上述步骤。解决了现有技术中存在的LDI外层对位精度较低、操作复杂的技术问题,达到了对位方法简单,而且精确度较高的技术效果。
  • ldi外层对位方法装置
  • [发明专利]一种激光能量控制装置及方法-CN201510943571.3有效
  • 杨振玲;刘涛;张昌清 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2015-12-16 - 2019-02-05 - H01S3/09
  • 本发明提供了一种激光能量控制装置及方法,应用于激光成像系统,属于光刻技术领域,所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块,所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合,所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合。本发明提供的一种激光能量控制装置及方法通过第一控制模块和第二控制模块的配合,有效地控制了激光器的驱动电压模块的输出电压,进而有效地提高了激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。
  • 一种激光能量控制装置方法
  • [发明专利]图像传输过程中的数据处理方法及装置-CN201510937622.1有效
  • 施楠;刘涛;杨振玲 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2015-12-15 - 2018-09-14 - G06T7/00
  • 本发明实施例提供了一种图像传输过程中的数据处理方法及装置,应用于图像处理领域。该方法包括获取图像中的多个四边形的顶点坐标;用切割边框对多个顶点坐标构成的多个四边形进行切割,获得位于所述切割边框内的顶点坐标以及所述切割边框与所述顶点坐标构成的四边形的交点坐标;根据所述交点坐标以及位于所述切割边框内的顶点坐标,获得多个子图四边形;将位于所述切割边框内的所述多个子图四边形内的像素点填充为第一像素值,所述切割边框内的其他像素点填充为第二像素值,获得子图图案;将所述子图图案输出;将所述切割边框右移所述第一距离的长度,返回所述获取所述图像中的多个四边形的顶点坐标的步骤。
  • 图像传输过程中的数据处理方法装置
  • [发明专利]LDI内层对位方法及系统-CN201611062209.6有效
  • 张立 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2018-09-14 - G03F9/00
  • 本发明提供了一种LDI内层对位方法及系统,涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域,其中,一种LDI内层对位方法,把待曝光的PCB板置于工作台上,根据PCB板和电子的尺寸信息,将正面图形曝光至PCB板上。在反面打印对位标记;将PCB板上下翻面,使反面朝上,通过相机获取已经打印的对位标记,对电子图纸进行平移、旋转进行对位,将反面图形曝光到PCB板上,实现两面的精确对位,解决了现有技术对位精度较差、报废率高的问题。
  • ldi内层对位方法系统
  • [发明专利]用于浸泡片状物品的治具-CN201510937688.0有效
  • 张秀颖;刘涛;王在超 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2015-12-15 - 2018-08-14 - H01L21/67
  • 本发明涉及产品制造领域,具体提供了一种用于浸泡片状物品的治具,包括:固定横杆、第一侧板、第二侧板、第一托板以及第二托板,第一托板的水平板与第二托板的水平板之间可伸缩连接,第一侧板与第一托板的竖直板可伸缩连接,第二侧板与第二托板的竖直板可伸缩连接,固定横杆依次穿过第一侧板以及第二侧板,第一侧板在与第二侧板相对的一面设置有多条第一卡槽,第二侧板在与第一侧板相对的一面设置有多条与第一卡槽相对应的第二卡槽,多条第一卡槽与多条第二卡槽沿竖直方向延伸,第一卡槽以及第二卡槽相配合用于卡住所述片状物品,固定横杆用于将第一侧板、第二侧板、第一底板以及第二底板固定在盛有浸泡片状物品的药液的药槽内。
  • 用于浸泡片状物品
  • [发明专利]标定方法及标定系统-CN201611052084.9有效
  • 马强 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2018-07-27 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种标定方法和标定系统,属于光刻技术领域。本发明公开一种标定方法,选定静态图形需要标定的图形点A和点B,根据图形点A和点B的坐标计算得到偏转角αimage;移动XY轴载物平台,使图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合,记录平台坐标(stageX1,stageY1);移动XY轴载物平台,使图形点B的中心移动到第一相机的中心点重合,记录平台坐标(stageX2,stageY2);根据坐标(stageX1,stageY1)及坐标(stageX2,stageY2)计算平台偏转角αstage;由αimage、αstage计算旋转角度角α。该方法能够实现平台在线测试旋转角,解决了现有技术中光刻机平台整机组装成功后无法测量偏摆的问题。
  • 标定方法系统
  • [发明专利]标定方法及标定装置-CN201611062006.7有效
  • 史喆琼 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2018-07-27 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种标定方法和标定装置,用于光刻机XY轴载物平台偏摆在线测试,属于光刻技术领域。本发明公开的一种标定方法,在光刻机的XY轴载物平台上放置标定板;选定需要标定的图形点A和B,读取A与B之间的距离为d1;将图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合;微调第二相机,使图形点B位于第二相机的视野范围内,读取两相机之间的距离d2,以及第二相机中心点和标定点之间的距离d3;根据d1、d2、d3计算标定板的偏摆角a,该方法可以在线测试偏摆,能够实现平台在线测试偏摆,解决了现有技术中光刻机平台整机组装成功后无法测量偏摆的技术问题。
  • 标定方法装置
  • [实用新型]光刻机设备系统及光刻机远程监控系统-CN201621282178.0有效
  • 王新旺 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2018-01-30 - G03F7/20
  • 本实用新型提供了一种光刻机设备系统及光刻机远程监控系统,属于光刻机技术领域。本实用新型公开的一种光刻机设备系统,包括光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块,以及信号采集模块和显示模块,其中,光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别与信号采集模块相连接,信号采集模块与显示模块相连接。通过信号采集模块采集的各模块的数据信号,显示在显示模块上,是用户可以直观的监测设备的运行状态,实现实时动态的监测光刻机各部件的运行状态,保证设备的运行和及时维修。
  • 光刻设备系统远程监控
  • [实用新型]复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置-CN201621272722.3有效
  • 梁洪瑞 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2017-06-30 - G02B27/09
  • 本实用新型提供了一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置,涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域,其中,平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片;第二镜片和第三镜片的相对面均设有第一复眼透镜阵列;第一镜片和第四镜片的背离面均设有第二复眼透镜阵列;第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合;第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。解决了现有技术中复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀的问题,可以实现光线的有效均匀化,使LDI最后曝光时能够获得所需要的均匀能量。
  • 复眼系统照明调节机构装置
  • [实用新型]LDI设备及其拼接调试系统-CN201621272721.9有效
  • 李傲雷 - 天津津芯微电子科技有限公司
  • 2016-11-25 - 2017-06-30 - G03F7/20
  • 本实用新型提供了一种LDI设备及其拼接调试系统,涉及激光直接成像技术领域,包括基座、显影装置和LDI设备拼接调试系统,显影装置和LDI设备拼接调试系统设置于基座的内部,显影装置对基底进行显影。其中,LDI设备拼接调试系统,包括光源模块、调试模板、物镜镜筒、调试模块和基底,光源模块产生光束照射至调试模板,使光束经调试模板投射至物镜镜筒,光束经物镜镜筒后投射至基底,调试模块调试物镜镜筒。该技术方案缓解了现有技术中存在的拼接调试过程繁琐,误差大的技术问题,从而实现了简化拼接调试流程,提高生产效率的目的。
  • ldi设备及其拼接调试系统

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