[发明专利]振子、振荡器、电子设备及移动体无效
| 申请号： | 201410493424.6 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104518750A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体，所述振子可靠性品质高、振动特性稳定、且具有高Q值。MEMS振子(100)具备：基部(21)、从基部(21)延伸出的多个振动片(22)、从基部(21)的振动的波节部延伸出的支承部(25)、与支承部(25)连接的固定部(23)、以及将固定部(23)配置到主面上的基板(1)，多个振动片(22)与基板(1)相离。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种振子，其特征在于，所述振子具有：基板；固定部，其固定在所述基板上；基部，其隔开间隔地配置在所述基板的上方；振动片，其从所述基部起在沿着所述基板的方向上延伸；以及支承部，其将所述基部与所述振动片的连接部、和所述固定部连接起来。
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