[发明专利]一种多晶硅还原生产中的尾气中的二氯二氢硅的回收方法和装置有效
| 申请号： | 201410484800.5 | 申请日： | 2014-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN105480981B | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 张吉武;张伟;陈朝霞;王惠 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 罗建民,邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原生产中的尾气中的二氯二氢硅的回收方法和装置，该方法包括以下步骤(1)将多晶硅还原生产中的尾气进行解析分离，得到分离开的氯化氢和氯硅烷；(2)对所述氯硅烷进行吸附除掉含有硼磷的杂质；(3)进行一级精馏脱除轻组分；(4)进行二级精馏脱除重组分，得到二氯二氢硅。不需要消耗大量的碱液和水，可以通过解析、吸附、一级精馏、二级精馏过程便得到二氯二氢硅，尾气处理成本低，污染少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 生产 中的 尾气 二氯二氢硅 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原生产中的尾气中的二氯二氢硅的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将多晶硅还原生产中的尾气通过解析塔进行解析分离，得到分离开的氯化氢和氯硅烷，解析塔的塔顶的轻组分氯硅烷被冷凝为液相状态；(2)对液相状态的轻组分氯硅烷进行吸附除掉含有硼磷的杂质；(3)进行一级精馏脱除轻组分；(4)进行二级精馏脱除重组分，得到二氯二氢硅。
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